1、精密加工技術——解讀

       目(mu)前，精(jing)(jing)(jing)密加(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)(gong)(gong)是(shi)指加(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)(gong)(gong)精(jing)(jing)(jing)度(du)為1~0.1μm，表面(mian)粗糙(cao)度(du)為Ra0.1~0.01μm的(de)(de)(de)(de)(de)加(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)(gong)(gong)技術(shu)，但(dan)這個(ge)界(jie)限(xian)是(shi)隨(sui)著加(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)(gong)(gong)技術(shu)的(de)(de)(de)(de)(de)進步不斷變化的(de)(de)(de)(de)(de)，今(jin)天的(de)(de)(de)(de)(de)精(jing)(jing)(jing)密加(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)(gong)(gong)可能(neng)就是(shi)明(ming)天的(de)(de)(de)(de)(de)一(yi)般加(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)(gong)(gong)。精(jing)(jing)(jing)密加(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)(gong)(gong)所要解(jie)決的(de)(de)(de)(de)(de)問(wen)題(ti)，一(yi)是(shi)加(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)(gong)(gong)精(jing)(jing)(jing)度(du)，包括形位公差、尺(chi)寸(cun)精(jing)(jing)(jing)度(du)及(ji)表面(mian)狀(zhuang)況，有時有無(wu)表面(mian)缺陷(xian)也是(shi)這一(yi)問(wen)題(ti)的(de)(de)(de)(de)(de)核心；二(er)是(shi)加(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)(gong)(gong)效(xiao)率，有些加(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)(gong)(gong)可以(yi)取(qu)得較好的(de)(de)(de)(de)(de)加(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)(gong)(gong)精(jing)(jing)(jing)度(du)，卻(que)難以(yi)取(qu)得高(gao)的(de)(de)(de)(de)(de)加(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)(gong)(gong)效(xiao)率。精(jing)(jing)(jing)密加(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)(gong)(gong)應(ying)該包括微細加(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)(gong)(gong)和超微細加(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)(gong)(gong)、光整加(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)(gong)(gong)等(deng)加(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)(gong)(gong)技術(shu)。

       2、幾種常用的精密加工方法及特點

       傳統的精密加工方法有布輪拋光、砂帶磨削、超精細切削、精細磨(mo)削、珩磨(mo)、研磨(mo)、超精研拋技術、磁粒(li)光(guang)整等。

       ①砂帶磨削

       是用粘有磨料的混紡布為磨具對工(gong)件進(jin)行(xing)加(jia)工(gong)，屬(shu)于涂附(fu)磨具磨削加(jia)工(gong)的(de)范疇，有生產率(lv)高、表面質量好、使用(yong)范圍廣(guang)等特點。國外(wai)在砂帶(dai)(dai)材料及制作工(gong)藝上取得(de)了(le)很大的(de)成(cheng)就，有了(le)適應(ying)于不(bu)同場合的(de)砂帶(dai)(dai)系列，生產出通用(yong)和(he)專(zhuan)用(yong)的(de)砂帶(dai)(dai)磨床，而且自(zi)(zi)動化程(cheng)度不(bu)斷提(ti)高(已有全自(zi)(zi)動和(he)自(zi)(zi)適應(ying)控制的(de)砂帶(dai)(dai)磨床)，但國內砂帶(dai)(dai)品種少，質量也有待提(ti)高，對機(ji)床還處于改(gai)造階段。

       ②精密切削

       也稱金剛石刀具切削(SPDT)，用高(gao)精密(mi)的(de)機床和單晶金剛石(shi)刀具進(jin)行切削加(jia)工，主要(yao)用于銅、鋁等(deng)(deng)不宜磨削加(jia)工的(de)軟金屬的(de)精密(mi)加(jia)工，如(ru)計算(suan)機用的(de)磁鼓(gu)、磁盤及(ji)大(da)功率激(ji)光用的(de)金屬反光鏡等(deng)(deng)，比一般切削加(jia)工精度(du)要(yao)高(gao)1~2個等(deng)(deng)級(ji)。

       例如用精(jing)密車削(xue)(xue)加工(gong)的(de)(de)液壓馬達轉子柱塞孔圓柱度為(wei)0.5~1μm，尺寸精(jing)度1~2μm；紅外反光(guang)(guang)鏡的(de)(de)表面粗糙(cao)度 Ra0.01~0.02μm，還具有較(jiao)好的(de)(de)光(guang)(guang)學(xue)(xue)性質。從(cong)成本上看，用精(jing)密切削(xue)(xue)加工(gong)的(de)(de)光(guang)(guang)學(xue)(xue)反射鏡，與過(guo)去(qu)用鍍鉻經(jing)磨削(xue)(xue)加工(gong)的(de)(de)產品(pin)相比，成本大約是后者的(de)(de)一(yi)半(ban)或幾分之(zhi)一(yi)。

       但許多因(yin)素(su)對精密切削(xue)的(de)(de)效果有影響，所(suo)以要達到預(yu)期的(de)(de)效果很不容易。同時(shi)，金剛石刀具切削(xue)較(jiao)硬的(de)(de)材料時(shi)磨損較(jiao)快，如(ru)切削(xue)黑(hei)色金屬時(shi)磨損速(su)度(du)(du)(du)比切削(xue)銅快104倍(bei)，而且(qie)加(jia)工(gong)出的(de)(de)工(gong)件的(de)(de)表面粗糙度(du)(du)(du)和 幾何(he)形狀精度(du)(du)(du)均(jun)不理想。

       ③超精密磨削

       用精確修整過的砂輪在精(jing)密磨(mo)床(chuang)上進(jin)行的(de)微量磨(mo)削加工(gong)，金(jin)(jin)(jin)屬(shu)的(de)去除量可(ke)在亞微米(mi)級(ji)甚至更小，可(ke)以達到(dao)很高(gao)(gao)的(de)尺寸精(jing)度(du)、形位精(jing)度(du)和很低(di)的(de)表(biao)(biao)面(mian)粗糙度(du)值。尺寸精(jing)度(du)0.1~0.3μm，表(biao)(biao)面(mian)粗糙度(du)Ra0.2~0.05μm，效率高(gao)(gao)。應用范圍廣泛(fan)，從軟金(jin)(jin)(jin)屬(shu)到(dao)淬火鋼(gang)、不銹鋼(gang)、高(gao)(gao)速鋼(gang)等(deng)難切削材(cai)(cai)料(liao)，及半(ban)導(dao)體、玻璃、陶瓷(ci)等(deng)硬脆非金(jin)(jin)(jin)屬(shu)材(cai)(cai)料(liao)，幾乎所(suo)有(you)的(de)材(cai)(cai)料(liao)都可(ke)利用磨(mo)削進(jin)行加工(gong)。

       但(dan)磨(mo)(mo)(mo)(mo)削(xue)(xue)加(jia)(jia)工(gong)后(hou)，被加(jia)(jia)工(gong)的(de)表面(mian)在磨(mo)(mo)(mo)(mo)削(xue)(xue)力及磨(mo)(mo)(mo)(mo)削(xue)(xue)熱的(de)作(zuo)用下(xia)金相組織要發生變化，易(yi)產生加(jia)(jia)工(gong)硬(ying)化、淬火(huo)硬(ying)化、熱應(ying)力層(ceng)、殘余應(ying)力層(ceng)和磨(mo)(mo)(mo)(mo)削(xue)(xue)裂(lie)紋等缺(que)陷(xian)。

       ④珩磨

       用油石砂條組(zu)成的珩(heng)磨頭，在(zai)一定(ding)壓力下沿(yan)工(gong)件表面往復(fu)運動(dong)，加工(gong)后的表面粗糙度可達Ra0.4~0.1μm，最好可到Ra0.025μm，主要用來(lai)(lai) 加工(gong)鑄鐵及鋼，不宜用來(lai)(lai)加工(gong)硬(ying)度小、韌(ren)性(xing)好的有色金屬。

       ⑤精密研磨與拋光

       通過介于(yu)(yu)工(gong)件和(he)工(gong)具間的磨(mo)(mo)(mo)料及加(jia)(jia)(jia)工(gong)液，工(gong)件及研(yan)(yan)(yan)具作(zuo)相互機械摩擦，使工(gong)件達到(dao)所要(yao)(yao)求(qiu)的尺寸與(yu)精(jing)度的加(jia)(jia)(jia)工(gong)方法。精(jing)密研(yan)(yan)(yan)磨(mo)(mo)(mo)與(yu)拋光對于(yu)(yu)金屬和(he)非(fei)金屬工(gong)件都可(ke)以達到(dao)其他加(jia)(jia)(jia)工(gong)方法所不能達到(dao)的精(jing)度和(he)表(biao)面(mian)粗糙度，被研(yan)(yan)(yan)磨(mo)(mo)(mo)表(biao)面(mian)的粗糙度Ra≤0.025μm加(jia)(jia)(jia)工(gong)變質(zhi)層很小(xiao)，表(biao)面(mian)質(zhi)量高，精(jing)密研(yan)(yan)(yan)磨(mo)(mo)(mo)的設備(bei)簡單，主要(yao)(yao)用于(yu)(yu)平面(mian)、圓柱面(mian)、齒輪齒面(mian)及有密封要(yao)(yao)求(qiu)的配偶(ou)件的加(jia)(jia)(jia)工(gong)，也可(ke)用于(yu)(yu)量規(gui)、量塊(kuai)、噴油(you)嘴、閥體(ti)與(yu)閥芯的光整加(jia)(jia)(jia)工(gong)。

       但精密研(yan)磨的效率較低，如(ru)干研(yan)速度一般為(wei)(wei)10~30m/min，濕(shi)研(yan)速度為(wei)(wei)20~120m/min。對加(jia)工環境要求嚴格，如(ru)有大磨料或(huo)異物混(hun)入時，將使表面產(chan)生很難去除的劃(hua)傷。

       ⑥拋光

       是利用機(ji)械、化(hua)(hua)學(xue)、電(dian)化(hua)(hua)學(xue)的方法對工件(jian)表(biao)(biao)面進(jin)行的一種微(wei)細(xi)加(jia)(jia)工，主要用來降低工件(jian)表(biao)(biao)面粗糙度，常用的方法有：手工或(huo)機(ji)械拋光、超(chao)聲波拋光、化(hua)(hua)學(xue)拋光、電(dian)化(hua)(hua)學(xue)拋光及電(dian)化(hua)(hua)學(xue)機(ji)械復合加(jia)(jia)工等。

       手工或機(ji)械(xie)拋(pao)光(guang)(guang)是用涂有(you)磨(mo)膏的(de)拋(pao)光(guang)(guang)器(qi)，在(zai)一定的(de)壓力下(xia)，與(yu)工件(jian)表面做相對(dui)運動，以實現對(dui)工件(jian)表面的(de)光(guang)(guang)整加(jia)工。加(jia)工后工件(jian)表面粗糙度Ra≤0.05μm，可用于(yu)平(ping)面、柱面、曲面及模具型腔的(de)拋(pao)光(guang)(guang)加(jia)工。手工拋(pao)光(guang)(guang)的(de)加(jia)工效果與(yu)操(cao)作者的(de)熟練程度有(you)關。

       超聲(sheng)(sheng)波拋光(guang)是利用(yong)工(gong)(gong)(gong)具端面做(zuo)超聲(sheng)(sheng)振動，通過磨料懸(xuan)浮液對硬脆材料進行光(guang)整加(jia)工(gong)(gong)(gong)，加(jia)工(gong)(gong)(gong)精度 0.01~0.02μm，表面粗(cu)糙度Ra0.1μm。超聲(sheng)(sheng)拋光(guang) 設備簡單，操作(zuo)、維修方便，工(gong)(gong)(gong)具可用(yong)較(jiao)軟(ruan)的材料制作(zuo)，而且不(bu)需作(zuo)復雜的運動，主要用(yong)來加(jia)工(gong)(gong)(gong)硬脆材料，如不(bu)導電的非金屬(shu)(shu)材料，當加(jia)工(gong)(gong)(gong)導電的硬質金屬(shu)(shu)材料時(shi)，生產率較(jiao)低。

       化(hua)學(xue)拋(pao)(pao)光是通過(guo)硝酸和(he)磷酸等氧化(hua)劑(ji)，在一定的條件(jian)下，使(shi)(shi)被(bei)加工(gong)(gong)的金(jin)屬表(biao)面(mian)氧化(hua)，使(shi)(shi)表(biao)面(mian)平整化(hua)和(he)光澤化(hua)。化(hua)學(xue)拋(pao)(pao)光設備簡單，可以加工(gong)(gong)各種形狀的工(gong)(gong)件(jian)，效率較高(gao)，加工(gong)(gong)的表(biao)面(mian)粗糙度一般為Ra≤0.2μm，但腐蝕液對人體和(he)設備有損傷，污染環境，需妥(tuo)善處理。主要用來對不(bu)銹鋼、銅(tong)、鋁及(ji)其合金(jin)的光亮修(xiu)飾加工(gong)(gong)。

       電(dian)(dian)化學(xue)(xue)拋光(guang)(guang)是(shi)利用電(dian)(dian)化學(xue)(xue)反應去除切削加(jia)(jia)工(gong)(gong)所(suo)殘留的微觀不平度(du)(du)，以提高零件表面光(guang)(guang)亮度(du)(du)的方法(fa)。它比機械拋光(guang)(guang)具(ju)有較高的生(sheng)(sheng)產率和小的表面粗糙度(du)(du)：一(yi)般可達Ra0.2μm，若(ruo)原始表面為Ra0.4~0.2μm，則 拋光(guang)(guang)后可提高到       Ra0.1~0.08μm，加(jia)(jia)工(gong)(gong)后工(gong)(gong)件具(ju)有較好的物(wu)理機械性(xing)能(neng)，使(shi)用壽命長，但電(dian)(dian)化學(xue)(xue)拋光(guang)(guang)只能(neng)加(jia)(jia)工(gong)(gong)導電(dian)(dian)的材料。隨著電(dian)(dian)化學(xue)(xue)加(jia)(jia)工(gong)(gong)技術的發(fa)展，還產生(sheng)(sheng)了(le)多種(zhong)新型的復合(he)加(jia)(jia)工(gong)(gong)方法(fa)，例(li)如超精(jing)密電(dian)(dian)解(jie)磨削、電(dian)(dian)化學(xue)(xue)機械復合(he)光(guang)(guang)整加(jia)(jia)工(gong)(gong)、電(dian)(dian)化學(xue)(xue)超精(jing)加(jia)(jia)工(gong)(gong)等(deng)。

       它們主(zhu)要以(yi)降低(di)工(gong)(gong)(gong)件的(de)表面(mian)(mian)(mian)粗(cu)糙度(du)(du)值為目(mu)的(de)，加(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)去除量很小，一(yi)(yi)般在(zai)0.01~0.1mm，對于(yu)表面(mian)(mian)(mian)粗(cu)糙度(du)(du)達到(dao)Ra0.8~1.6μm的(de)外圓，平(ping)面(mian)(mian)(mian)、內孔(kong)及自由曲面(mian)(mian)(mian)均可一(yi)(yi)道工(gong)(gong)(gong)序加(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)到(dao)鏡面(mian)(mian)(mian)，表面(mian)(mian)(mian)粗(cu)糙度(du)(du)Ra0.05μm，甚至更低(di)。電(dian)化學(xue)機械加(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)屬(shu)于(yu)一(yi)(yi)種加(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)單位極(ji)小的(de)精(jing)密加(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)方法，從原(yuan)理上講加(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)精(jing)度(du)(du)可以(yi)達到(dao)原(yuan)子級，所以(yi)加(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)精(jing)度(du)(du)具有大(da)的(de)潛力，但(dan)由于(yu)左右(you)其(qi)(qi)加(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)精(jing)度(du)(du)的(de)因素目(mu)前還不(bu)是很清(qing)楚，所以(yi)在(zai)實際應用中，其(qi)(qi)加(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)表現出一(yi)(yi)定的(de)不(bu)穩(wen)定性，這在(zai)很大(da)程度(du)(du)上限制了它在(zai)工(gong)(gong)(gong)業生產(chan)中的(de)應用。

       3、超精密加工的發展趨勢

       國外精(jing)密(mi)加工(gong)技術的(de)發展(zhan)是(shi)從(cong)上(shang)世紀70年(nian)代初(chu)期開(kai)始的(de)，主要集中在美、日(ri)、英(ying)等(deng)國家(jia)，上(shang)世紀80年(nian)代中期取得了(le)舉世矚目的(de)成果，并在1977年(nian)日(ri)本精(jing)密(mi)工(gong)學會精(jing)密(mi)機(ji)床研究專業委員會對機(ji)床的(de)加工(gong)精(jing)度(du)標準(zhun)提出補充IT-1和IT-2兩個等(deng)級。附表(biao)是(shi)補充后該標準(zhun)的(de)內容，由此(ci)可以看出比原來的(de)IT0級精(jing)度(du)提高了(le)許多。

       目前精(jing)(jing)(jing)密(mi)加工(gong)(gong)(gong)所能達到的(de)加工(gong)(gong)(gong)精(jing)(jing)(jing)度距加工(gong)(gong)(gong)的(de)極(ji)限還有(you)相當的(de)距離(li)。國外(wai)有(you)人聲稱已(yi)開發了以原(yuan)子(zi)級去除(chu)單位(wei)的(de)加工(gong)(gong)(gong)方法，但目前還未在實際生(sheng)產中得(de)到應用(yong)。為了促(cu)進精(jing)(jing)(jing)密(mi)加工(gong)(gong)(gong)技術(shu)的(de)發展，應深入研(yan)究(jiu)和探討(tao)下(xia)列幾個問題(ti)。

       ①基于新原理的加工方法

       努力開發加(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)單(dan)位(wei)極小的(de)精密(mi)加(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)方法，必(bi)須在加(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)機理(li)的(de)本(ben)身(shen)就使其誤差分(fen)散(san)在1nm以(yi)下(xia)的(de)水平。目前(qian)加(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)單(dan)位(wei)比較(jiao)小的(de)加(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)方法主要(yao)(yao)有彈(dan)性破壞(huai)加(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)、化學加(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)、離(li)子(zi)束加(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)、電(dian)子(zi)束加(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)、等(deng)離(li)子(zi)體(ti)加(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)等(deng)。目前(qian)的(de)金(jin)剛(gang)石切削和金(jin)剛(gang)石砂(sha)輪(lun)精密(mi)磨削從(cong)其加(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)機理(li)上(shang)(shang)看，其加(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)單(dan)位(wei)就很大，從(cong)本(ben)質上(shang)(shang)講，要(yao)(yao)想得到(dao)0.05μm以(yi)下(xia)的(de)精度

       ②開發精密的機械機構

       不(bu)論是(shi)(shi)加工裝置還是(shi)(shi)測(ce)量裝置，都(dou)需要精(jing)密(mi)的機械機構，包括導軌(gui)、進給(gei)機構及(ji)軸(zhou)承等，超精(jing)密(mi)空(kong)氣靜(jing)壓導軌(gui)是(shi)(shi)目(mu)前最好(hao)的導軌(gui)，其直線(xian)(xian)度可(ke)達(0.1~0.2)μm/250mm，通過補償技術還可(ke)以進一(yi)步提(ti)高直線(xian)(xian)度，但是(shi)(shi)它沒有液體靜(jing)壓導軌(gui)的剛性大。

       同時，由于(yu)空(kong)氣靜壓導軌的(de)氣膜厚度只有(you)10μm左(zuo)右(you)，所以在使用過程(cheng)中，要注意(yi)防塵(chen)。另外 ，在導軌的(de)設計(ji)中，還可(ke)以用多(duo)根導軌并聯來均化(hua)氣膜的(de)誤(wu)差(cha)。用高彈性(xing)合金、紅寶石制造的(de)滾(gun)動導軌，系統誤(wu)差(cha)在0.5μm左(zuo)右(you)，隨(sui)機誤(wu)差(cha)可(ke)能超過0.1μm。

       目前(qian)超(chao)精(jing)密加工(gong)中(zhong)所使用的磁懸浮軸(zhou)承主軸(zhou)精(jing)度(du)低于空氣靜(jing)壓軸(zhou)承主軸(zhou)，空氣靜(jing)壓軸(zhou)承主軸(zhou)的回轉(zhuan)精(jing)度(du)可達0.05μm，國外的可達0.03μm，但這仍 然無法滿足納米加工(gong)對(dui)主軸(zhou)的精(jing)度(du)要求。

       要想提高空氣(qi)靜(jing)(jing)壓(ya)軸承主軸的(de)回轉(zhuan)精(jing)度就必須提高軸承的(de)回轉(zhuan)精(jing)度，而(er)空氣(qi)靜(jing)(jing)壓(ya)軸承的(de)回轉(zhuan)精(jing)度受(shou)軸承部件的(de)圓度和(he)供氣(qi)條件的(de)影(ying)響(xiang)，由于壓(ya)力膜的(de)作用(yong)，軸承的(de)回轉(zhuan)精(jing)度是軸承部件圓度的(de)1/15~1/20，所以，要得到10nm的(de)回轉(zhuan)精(jing)度，軸和(he)軸套的(de)圓度要達(da)到0.15~0.20μm，同(tong)時(shi)為了氣(qi)體流出的(de)均勻性，對于納米級(ji)的(de)主軸，多采(cai)用(yong)

       ③開發高精度的測試系統

       在目前(qian)的(de)(de)(de)超精密(mi)加(jia)工(gong)領域中(zhong)，對加(jia)工(gong)精度的(de)(de)(de)測(ce)量(liang)主要有(you)兩種方法；激光(guang)檢測(ce)和光(guang)柵(zha)(zha)檢測(ce)，而光(guang)柵(zha)(zha)的(de)(de)(de)應用最為廣泛。目前(qian)光(guang)柵(zha)(zha)的(de)(de)(de)測(ce)量(liang)精度可(ke)達nm級，如北京光(guang)電儀研(yan)究中(zhong)心的(de)(de)(de)光(guang)柵(zha)(zha)系(xi)統(tong)可(ke)達0.1μm，俄羅斯的(de)(de)(de)全(quan)息光(guang)柵(zha)(zha)系(xi)統(tong)達10nm，LG100光(guang)柵(zha)(zha)系(xi)統(tong)的(de)(de)(de)分辨率可(ke)達0.1μm，測(ce)量(liang)范(fan)圍為100mm。

       開發(fa)系統誤差小、精度(du)(du)高(gao)(gao)和(he)可(ke)靠性(xing)高(gao)(gao)的檢測(ce)儀器(qi)和(he)控(kong)制裝置的前提是開發(fa)高(gao)(gao)性(xing)能(neng)的傳感器(qi)以(yi)及(ji)伺服從動機(ji)(ji)構。如(ru)果開發(fa)出(chu)(chu)高(gao)(gao)性(xing)能(neng)的傳感器(qi)以(yi)及(ji)伺服機(ji)(ji)構及(ji)高(gao)(gao)精度(du)(du)、高(gao)(gao)速度(du)(du)、和(he)高(gao)(gao)可(ke)靠性(xing)的讀出(chu)(chu)裝置，就可(ke)通(tong)過(guo)使用計(ji)算(suan)機(ji)(ji)進行(xing)檢測(ce)、分(fen)析及(ji)計(ji)算(suan)，以(yi)提高(gao)(gao)檢測(ce)精度(du)(du)。

       與超(chao)精(jing)密加(jia)工(gong)(gong)有(you)關的(de)技(ji)(ji)術(shu)問(wen)題還有(you)很多方面，如溫(wen)度(du)控(kong)制(zhi)(zhi)技(ji)(ji)術(shu)、振動(dong)控(kong)制(zhi)(zhi)技(ji)(ji)術(shu)、環境控(kong)制(zhi)(zhi)技(ji)(ji)術(shu)等。比(bi)如材(cai)料的(de)彈性變(bian)形和熱變(bian)形，就很難使材(cai)料的(de)去除加(jia)工(gong)(gong)達到原子級的(de)精(jing)度(du)，長(chang)100mm 的(de)鋼制(zhi)(zhi)零件，要(yao)控(kong)制(zhi)(zhi)其熱變(bian)形在(zai)0.01mm 以(yi)內，就必須控(kong)制(zhi)(zhi)溫(wen)度(du)變(bian)化在(zai)0.01℃以(yi)內，這在(zai)加(jia)工(gong)(gong)領域還很難實現。只要(yao)在(zai)上述的(de)一個方面取得(de)發(fa)展(zhan)或突(tu)破，必將導(dao)致精(jing)密加(jia)工(gong)(gong)技(ji)(ji)術(shu)的(de)高(gao)速發(fa)展(zhan)。

       ④開發適用于精密加工并能獲得高精度、高表面質量的新型材料 例如最近開發超微(wei)粉燒(shao)結金屬、非結晶(jing)金屬、超微(wei)粉陶(tao)瓷(ci)、非結晶(jing)半導(dao)(dao)體陶(tao)瓷(ci)、復合高分子材料等。只要在(zai)上述的(de)一個(ge)方面取得發展(zhan)或突破，必將(jiang)導(dao)(dao)致精密加工技術的(de)高速發展(zhan)。

       4、總結

 ;      精(jing)密加(jia)(jia)工(gong)方(fang)法在今天顯(xian)得(de)越(yue)來越(yue)重要(yao)，精(jing)密加(jia)(jia)工(gong)技(ji)術已成(cheng)為目(mu)前(qian)高(gao)科技(ji)技(ji)術領域的基礎，提高(gao)超精(jing)密加(jia)(jia)工(gong)的精(jing)度已成(cheng)為目(mu)前(qian)迫(po)在眉(mei)睫的問(wen)題。

       目(mu)前，很多學者正在這方(fang)面做(zuo)著(zhu)大量的(de)研究和實驗，相信不久的(de)將來，超精密加工會取得長足進展。