申(shen)請號: 201720130464.3

申請日: 2017.02.14

國家/省市: 中國廣州(zhou)(81)

主分類號: B24B 37/08(2012.01)

授權(quan)公告(gao)號(hao): 206509880U

授權公告日: 2017.09.22

分類號: B24B 37/08(2012.01); B24B 57/02(2006.01)

申請人: 廣州半導體材料研究所

發明人: 謝鴻波; 劉軍; 賴韶輝; 姚永紅

代理人: 付茵茵

代理(li)機構: 廣州市華學知識產權代理(li)有限(xian)公司(si)(44245)

申請(qing)人地址: 廣東省廣州市天河區東莞莊161號

摘要： 本實用新型涉及用于半導體晶片研磨機的液體磨料供(gong)給(gei)系(xi)統，包括(kuo)低(di)位(wei)(wei)磨(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)料(liao)(liao)(liao)(liao)桶(tong)(tong)(tong)、高位(wei)(wei)磨(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)料(liao)(liao)(liao)(liao)桶(tong)(tong)(tong)、連(lian)接低(di)位(wei)(wei)磨(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)料(liao)(liao)(liao)(liao)桶(tong)(tong)(tong)和(he)高位(wei)(wei)磨(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)料(liao)(liao)(liao)(liao)桶(tong)(tong)(tong)的(de)(de)(de)上料(liao)(liao)(liao)(liao)管(guan)、將磨(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)料(liao)(liao)(liao)(liao)從低(di)位(wei)(wei)磨(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)料(liao)(liao)(liao)(liao)桶(tong)(tong)(tong)抽(chou)至高位(wei)(wei)磨(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)料(liao)(liao)(liao)(liao)桶(tong)(tong)(tong)的(de)(de)(de)抽(chou)取泵(beng)、將磨(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)料(liao)(liao)(liao)(liao)從高位(wei)(wei)磨(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)料(liao)(liao)(liao)(liao)桶(tong)(tong)(tong)下(xia)料(liao)(liao)(liao)(liao)至研(yan)磨(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)機(ji)的(de)(de)(de)下(xia)料(liao)(liao)(liao)(liao)管(guan)、控制高位(wei)(wei)磨(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)料(liao)(liao)(liao)(liao)桶(tong)(tong)(tong)下(xia)料(liao)(liao)(liao)(liao)通斷(duan)的(de)(de)(de)開關閥門。本實(shi)用新型還(huan)涉及(ji)半(ban)導體晶片(pian)(pian)研(yan)磨(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)系(xi)統，包括(kuo)半(ban)導體晶片(pian)(pian)研(yan)磨(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)機(ji)和(he)液體磨(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)料(liao)(liao)(liao)(liao)供(gong)給(gei)系(xi)統。本實(shi)用新型具(ju)有(you)供(gong)料(liao)(liao)(liao)(liao)的(de)(de)(de)靈活(huo)性(xing)更強(qiang)，便(bian)于(yu)連(lian)續(xu)地供(gong)給(gei)磨(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)料(liao)(liao)(liao)(liao)，實(shi)現磨(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)片(pian)(pian)機(ji)不間斷(duan)的(de)(de)(de)磨(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)片(pian)(pian)，供(gong)料(liao)(liao)(liao)(liao)更均勻的(de)(de)(de)優點，屬于(yu)半(ban)導體晶片(pian)(pian)加工設(she)備技術領域。   

主權利要求

1.用(yong)于(yu)半(ban)導體(ti)晶片研磨(mo)(mo)機的(de)液體(ti)磨(mo)(mo)料(liao)(liao)(liao)(liao)供給系統，其特(te)征在于(yu)：包括(kuo)-低(di)位磨(mo)(mo)料(liao)(liao)(liao)(liao)桶(tong)，-高位磨(mo)(mo)料(liao)(liao)(liao)(liao)桶(tong)，-連接低(di)位磨(mo)(mo)料(liao)(liao)(liao)(liao)桶(tong)和高位磨(mo)(mo)料(liao)(liao)(liao)(liao)桶(tong)的(de)上料(liao)(liao)(liao)(liao)管，-將磨(mo)(mo)料(liao)(liao)(liao)(liao)從(cong)低(di)位磨(mo)(mo)料(liao)(liao)(liao)(liao)桶(tong)抽至(zhi)高位磨(mo)(mo)料(liao)(liao)(liao)(liao)桶(tong)的(de)抽取(qu)泵，-將磨(mo)(mo)料(liao)(liao)(liao)(liao)從(cong)高位磨(mo)(mo)料(liao)(liao)(liao)(liao)桶(tong)下(xia)料(liao)(liao)(liao)(liao)至(zhi)研磨(mo)(mo)機的(de)下(xia)料(liao)(liao)(liao)(liao)管，-控制高位磨(mo)(mo)料(liao)(liao)(liao)(liao)桶(tong)下(xia)料(liao)(liao)(liao)(liao)通斷的(de)開關閥門。