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砂漿、電鍍金剛線、樹脂金剛線硅片切割對比

關鍵詞 砂漿 , 電鍍金剛線 , 樹脂金剛線 , 硅片切割|2013-07-25 10:10:37|基礎知識|來源 中國磨料磨具網
摘要 1.三種切割方式表面特征對比特點砂漿切割
       1.三種(zhong)切割(ge)方式表(biao)面特征對比

特點

砂漿切割

電鍍金剛線切割

樹脂金剛線切割

切(qie)割方式

研磨

刻削

刻削

硅(gui)片表面特征

線痕

絲(si)痕

絲(si)痕

破(po)壞深度um

5-15

5-10

4-7

每次加工硅片數量(liang)

1400-4600

1400-1800

1400-1800

切(qie)口消(xiao)耗     um

（120-150）±24

160-210

126

硅片最小厚(hou)度

160

120

120

ttv

24

8

8

 

 2.砂(sha)漿和(he)樹(shu)脂金剛線切(qie)割硅片出片率(lv)對比

項目

晶(jing)棒長(chang)度

硅片厚度

切(qie)割間距

預想成品率

出(chu)片率(lv)

比較

砂漿切割

450mm

180um

330um

90%

1227

——

樹脂(zhi)金剛線

450mm

180um

310um

92%

1335

8.8%up

 

備(bei)注：1.砂漿(jiang)切割(ge) w=120um，sic切割損耗=30um，合計(ji)150um

2.金剛線(xian)切割，w=100um，D=10-20um，合計(ji)130um


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