摘要 原理:利用超短脈沖/連續激光聚焦能量,使金剛石表面局部熔化、蒸發或發生相變(如石墨化),通過材料重排或氣化降低粗糙度。特點:非接觸、高空間分辨率(微米級聚焦),適合三維復雜表面處理...
原理:
利用超短脈沖/連續激光聚焦能量,使金剛石表面局(ju)部(bu)熔化、蒸發或發生相變(如石墨化),通過材(cai)料重排或氣化降低粗糙(cao)度(du)。
特(te)點:
非接(jie)觸、高空間分辨率(lv)(微米級聚焦(jiao)),適合三維復雜表面處(chu)理(li);
熱影響區易導致微裂紋(wen)或殘余應力,需(xu)精確控(kong)制激光(guang)參數(波長、脈寬、功率);
適用于微納器件局部修形或超硬涂層拋光。