12月20日，記者從北京大學東莞光電研究院獲悉，該院研究員王琦與南方科技大學、香港大學等研究人員組成的聯合研究團隊，在金剛石薄膜材料制備和應用方面取得重要進展，成功開發出能夠批量生產大尺寸超光滑柔性金剛石薄膜的制(zhi)備方法。相關成果(guo)近日發表在國際學(xue)術(shu)期刊《自(zi)然(ran)》上(shang)。

       王琦介紹，金(jin)剛石(shi)是一(yi)種特殊(shu)的(de)材(cai)料，由于(yu)其卓越的(de)性能(neng)，在各個(ge)領域都(dou)有巨大的(de)應(ying)用潛力(li)。在過去幾十(shi)年中，盡管人們作出(chu)了巨大努力(li)，但超薄金(jin)剛石(shi)膜仍未獲得廣泛使(shi)用，批量生產依然具有挑(tiao)戰性。

       本項工作成功開發(fa)了切邊后(hou)使用(yong)膠(jiao)帶進(jin)行剝離的(de)(de)方(fang)法，能夠(gou)(gou)大(da)量(liang)制備大(da)面(mian)積（2英(ying)寸晶圓(yuan)）、超(chao)薄（亞微(wei)米厚度）、超(chao)平整(zheng)（表面(mian)粗(cu)糙度低于納米）、超(chao)柔性（可360°彎(wan)曲）的(de)(de)金剛石薄膜。制備的(de)(de)高品(pin)質薄膜具有平坦的(de)(de)可加工表面(mian)，能夠(gou)(gou)允許進(jin)行微(wei)納加工操作，超(chao)柔性特點(dian)使得能夠(gou)(gou)直接用(yong)于彈性應變工程，以及(ji)變形傳感應用(yong)。

       據(ju)介紹，通過系統的(de)實驗(yan)和(he)理論(lun)研(yan)究，該研(yan)究表明，剝離薄(bo)膜的(de)品質(zhi)取決于剝離的(de)角度和(he)膜厚(hou)度，而且(qie)能夠(gou)在(zai)優化的(de)操(cao)作窗口穩健(jian)地制備大(da)面積且(qie)基本保持完(wan)整的(de)金剛石(shi)(shi)薄(bo)膜。這種一(yi)步得到(dao)金剛石(shi)(shi)薄(bo)膜的(de)方法，為大(da)規模制備高(gao)品質(zhi)金剛石(shi)(shi)薄(bo)膜提供路徑，有可能加快(kuai)金剛石(shi)(shi)材料在(zai)電子(zi)學、光子(zi)學等(deng)相關領域的(de)商業化應用。