“芯片劃切是芯片制造的關鍵步驟,長期以來,我國相關劃切技術落于人后,成為制約我國芯片產業發展的難題。”7月12日,記者走進鄭州三磨所高性能工具全國重點實驗室,不少科研人員正在進行實驗。相關負責人介紹,實驗室突破了超薄砂輪高效精密劃切磨損機制、極薄砂輪(0.01mm)等系列關鍵技術,研制出具有自主知識產權的半導體芯片精密劃切用系列超薄砂輪,解決了我國半導體行業芯(xin)片的精密(mi)高效(xiao)劃切(qie)難題。
△CVD鉆石
企業是科技創新的主體。近年來,鄭州三磨所圍繞金剛石材料,面向航空航天、核工業、第四代半導體、超大功率器件等國家尖端技術領域迫切需求以及電子信息、汽車、家用電器、光伏、LED、風能(neng)等各行業領(ling)域的升級發展需求,突(tu)破多(duo)項關(guan)鍵技術(shu),打破了我國高檔精密超硬材(cai)料制品主要依靠進口的局面。
2022年,鄭州三磨所緊抓新一輪創新平臺優化重組戰略機遇,原超硬材料磨具國家重點實驗(yan)室(shi)成(cheng)功獲批(pi)重組建設高性能工具全國重點實驗(yan)室(shi),并新增2個國家級創(chuang)(chuang)新平(ping)臺。同年,鄭州三磨(mo)(mo)所(suo)聯(lian)合鄭州大(da)學、河南(nan)工業大(da)學、黃河旋風、力(li)量鉆石等(deng)(deng)高校、科(ke)研(yan)(yan)院所(suo)和(he)企業,組建了“河南(nan)省高端超(chao)硬(ying)材(cai)料及(ji)制品創(chuang)(chuang)新聯(lian)合體”,很大(da)程度上解(jie)決了行業產、學、研(yan)(yan)、用脫節的問題(ti)。在發(fa)展過程中,公(gong)司也匯聚了大(da)量人才,培育(yu)出(chu)“高速高效精密超(chao)硬(ying)材(cai)料磨(mo)(mo)具技術研(yan)(yan)究團(tuan)隊”等(deng)(deng)多個科(ke)技團(tuan)隊。
△由鄭州磨料磨具磨削研(yan)究所有限公司自主研(yan)發(fa)的鄭州本土品牌的鉆石——黛諾
三磨所超硬材料是鄭州科技(ji)創(chuang)(chuang)新(xin)(xin)(xin)的一(yi)個縮(suo)影。在科技(ji)創(chuang)(chuang)新(xin)(xin)(xin)賽道上,鄭州越來越多的行業(ye)和企業(ye)正(zheng)在從“追隨者(zhe)”向(xiang)“領跑者(zhe)”轉(zhuan)變。一(yi)項項關鍵(jian)核(he)心技(ji)術的攻(gong)破,一(yi)個個科技(ji)企業(ye)的迅速發展(zhan),很大程度上得益于(yu)鄭州堅持改(gai)革(ge)牽引和創(chuang)(chuang)新(xin)(xin)(xin)驅(qu)動相結合,通(tong)過改(gai)革(ge)重塑順應創(chuang)(chuang)新(xin)(xin)(xin)發展(zhan)的科技(ji)體制和人才機制,下好了創(chuang)(chuang)新(xin)(xin)(xin)驅(qu)動這步“先手棋”。
鄭(zheng)州市科技局相關(guan)負責人介(jie)紹,目前(qian),鄭(zheng)州市國家(jia)級重點實驗(yan)室(shi)已達(da)到(dao)14家(jia),56家(jia)大院名所在鄭(zheng)設立新(xin)(xin)型研(yan)(yan)發機構;規模以(yi)上工業(ye)(ye)企(qi)業(ye)(ye)研(yan)(yan)發活動覆蓋(gai)率達(da)到(dao)83%,高新(xin)(xin)技術企(qi)業(ye)(ye)總量(liang)突破5800多家(jia),省級以(yi)上專精(jing)特新(xin)(xin)中小企(qi)業(ye)(ye)達(da)到(dao)1129家(jia)。