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半導體拋光墊打磨創新“精度”

關鍵詞 拋光墊|2024-07-09 10:00:43|來源 中國知識產權報
摘要 科技創新帶動信息時代到來,半導體、電子信息等高科技產業迅速崛起,相關制造企業搭乘行業發展的“快車”,市場規模逐步擴大。作為半導體產品制備過程中必不可少的工具,聚氨酯拋光墊在芯片制造...

       科技創新帶動信息時代到來,半導體、電子信息等高科技產業迅速崛起,相關制造企業搭乘行業發展的“快車”,市場規模逐步擴大。作為半導體產品制備過程中必不可少的工具,聚氨酯拋光墊在芯片制造、封裝測試等環節中發揮著重要作用,市場需求呈現出穩步增長的趨勢。在5G、物聯網、人工智能等新興技術的激發下,半導體拋光墊相(xiang)關技術(shu)的研發攻(gong)關再次掀(xian)起熱潮。

       前(qian)不久,國家知(zhi)識產(chan)權局公(gong)(gong)布2023年度專(zhuan)(zhuan)利(li)復審(shen)無效(xiao)十大案(an)件,請求人王某某與專(zhuan)(zhuan)利(li)權人羅(luo)門(men)(men)哈斯(si)電子(zi)材(cai)料(liao) CMP控股股份(fen)有(you)限公(gong)(gong)司(si)(si)(si)(si)(si)(下(xia)(xia)稱(cheng)羅(luo)門(men)(men)哈斯(si)公(gong)(gong)司(si)(si)(si)(si)(si))、陶氏(shi)環(huan)球技術有(you)限公(gong)(gong)司(si)(si)(si)(si)(si)(下(xia)(xia)稱(cheng)陶氏(shi)公(gong)(gong)司(si)(si)(si)(si)(si))之間的(de)(de)專(zhuan)(zhuan)利(li)權無效(xiao)宣告請求案(an)入選(xuan)。該案(an)中(zhong),國家知(zhi)識產(chan)權局專(zhuan)(zhuan)利(li)局復審(shen)和(he)無效(xiao)審(shen)理(li)部(下(xia)(xia)稱(cheng)復審(shen)和(he)無效(xiao)審(shen)理(li)部)作出無效(xiao)宣告請求審(shen)查(cha)決定,維持羅(luo)門(men)(men)哈斯(si)公(gong)(gong)司(si)(si)(si)(si)(si)和(he)陶氏(shi)公(gong)(gong)司(si)(si)(si)(si)(si)的(de)(de)名稱(cheng)為(wei)“聚氨酯拋光墊”(專(zhuan)(zhuan)利(li)號:ZL201410448504.X,下(xia)(xia)稱(cheng)涉(she)案(an)專(zhuan)(zhuan)利(li))發明專(zhuan)(zhuan)利(li)權有(you)效(xiao)。涉(she)案(an)專(zhuan)(zhuan)利(li)權人為(wei)相關技術領域知(zhi)名公(gong)(gong)司(si)(si)(si)(si)(si),加之該專(zhuan)(zhuan)利(li)技術具有(you)廣(guang)(guang)闊的(de)(de)市場應用前(qian)景,因此,上述(shu)審(shen)查(cha)決定的(de)(de)作出引(yin)發了(le)業界的(de)(de)廣(guang)(guang)泛關注。

       產品市場前景廣闊

       在芯片制造過程中,半導體硅片經過刻蝕、離子注入等工藝過程,其表面會變得凹凸不平,并產生多余的表面物。為降低硅片表面的粗糙度和不平整度,去除表面多余物質,有效進行下一道加工程序,必須使用拋光墊對半導體硅片進行拋光處理。不同于普通的拋光技術,對半導體硅片的拋光需要采用化學機械拋光技術(CMP),通過化學腐蝕與機械磨削的(de)(de)結合對硅(gui)片(pian)表(biao)面(mian)進(jin)行(xing)平坦化(hua)處理(li)。隨著(zhu)集成電路特征(zheng)尺寸的(de)(de)減小,制備(bei)過程中由拋(pao)光所產生的(de)(de)缺陷進(jin)一(yi)步放大,這(zhe)也(ye)引(yin)起(qi)了相關(guan)研(yan)發團隊的(de)(de)重視。

       涉案專利(li)(li)(li)正是專利(li)(li)(li)權(quan)人為了(le)解決(jue)拋光墊材料所致硅片表面存在缺陷的(de)研究成果。2014年9月(yue)4日,羅門哈斯公司和(he)陶(tao)氏公司就(jiu)涉案專利(li)(li)(li)向國家知識產權(quan)局(ju)提(ti)交(jiao)了(le)專利(li)(li)(li)申請,后(hou)獲得授權(quan)。

       “從 CMP拋光(guang)全球市(shi)場(chang)來看,該(gai)行業(ye)(ye)長期被國外(wai)企(qi)業(ye)(ye)所壟(long)斷,市(shi)場(chang)集中(zhong)度較(jiao)高(gao)。”江蘇瑞途(tu)律師事務所專利(li)部總監韋超峰在(zai)接(jie)受(shou)中(zhong)國知識產(chan)權報(bao)記者(zhe)采訪時介紹,與(yu)國外(wai)相比,我(wo)國 CMP拋光(guang)行業(ye)(ye)起步較(jiao)晚。但近年來,伴隨著我(wo)國半導(dao)體產(chan)業(ye)(ye)的(de)快(kuai)速發(fa)展以(yi)及相關政策的(de)推動(dong),我(wo)國 CMP拋光(guang)行業(ye)(ye)發(fa)展加(jia)快(kuai),接(jie)連涌現出了一批創新主體,如鼎龍(long)股份(fen)、中(zhong)芯國際等(deng),這些企(qi)業(ye)(ye)紛(fen)紛(fen)加(jia)大研發(fa)力度、進行技術(shu)創新,積極同國外(wai)企(qi)業(ye)(ye)進行市(shi)場(chang)競爭。

       公正審理同等保護

       2023年(nian)4月20日,請(qing)求人王某某就涉案專利向復(fu)審(shen)(shen)和無效審(shen)(shen)理部提起專利權無效宣告請(qing)求。在受(shou)理該(gai)案后,復(fu)審(shen)(shen)和無效審(shen)(shen)理部隨即組(zu)建了由多名資(zi)深(shen)審(shen)(shen)查(cha)員組(zu)成的(de)合議(yi)組(zu)對該(gai)案進行(xing)(xing)審(shen)(shen)查(cha),并于(yu)2023年(nian)8月2日舉行(xing)(xing)口頭審(shen)(shen)理。

       據了解,王某某提起專利(li)(li)(li)權(quan)(quan)無(wu)效宣(xuan)告請(qing)求(qiu)(qiu)的(de)主要理由(you)為涉案專利(li)(li)(li)的(de)權(quan)(quan)利(li)(li)(li)要求(qiu)(qiu)不符合專利(li)(li)(li)法(fa)第二十二條(tiao)第三(san)款(kuan)。具言之,涉案專利(li)(li)(li)的(de)權(quan)(quan)利(li)(li)(li)要求(qiu)(qiu)1與最接近的(de)現有技術相比,區別僅在于固化(hua)劑(ji)(ji)的(de)種類不同(tong),權(quan)(quan)利(li)(li)(li)要求(qiu)(qiu)中(zhong)關于物理性能(neng)參數(shu)對權(quan)(quan)利(li)(li)(li)要求(qiu)(qiu)的(de)保護(hu)范圍無(wu)限定(ding)作用。在此(ci)基礎上,請(qing)求(qiu)(qiu)人(ren)還提交(jiao)多(duo)份證(zheng)據欲證(zheng)明使用該(gai)類固化(hua)劑(ji)(ji)給出了技術教(jiao)導(dao),故涉案專利(li)(li)(li)不具備創造性。

       對此,專(zhuan)利權人羅門哈斯公司和陶氏公司辯稱(cheng),涉案專(zhuan)利中的固化(hua)劑特(te)征與其(qi)它(ta)配方組分特(te)征為同一技術手段,在創造性(xing)判斷時應作為一個整體(ti)考量(liang),涉案專(zhuan)利正是因為配方組分的上述組合特(te)征同時產生了性(xing)能改善的組合效(xiao)果,而請求人提交的證據均(jun)未就此給出(chu)技術啟示(shi)的情(qing)況下,涉案專(zhuan)利具備創造性(xing)。

       該案主審(shen)員許艷在(zai)接受(shou)本(ben)報記(ji)者采(cai)訪(fang)時(shi)介紹(shao),對于與(yu)化學、材料學科(ke)相融合的(de)機械產品,由于其權利(li)要求的(de)表征(zheng)不再局限(xian)于部件組(zu)成及具體結構(gou),方法制備特征(zheng)和性能參數特征(zheng)也融入(ru)其中,因此如(ru)何準確理(li)解這類產品權利(li)要求是審(shen)查結論(lun)正(zheng)確與(yu)否的(de)前提和關鍵。

       “該案(an)中,合議組站位本領域技(ji)術(shu)(shu)人員(yuan),基于說明書的(de)客觀記(ji)載,在(zai)對權利(li)(li)要求(qiu)多個技(ji)術(shu)(shu)特(te)征是否可視為同(tong)(tong)一技(ji)術(shu)(shu)手段以(yi)及性(xing)(xing)能參數(shu)特(te)征對權利(li)(li)要求(qiu)保(bao)護(hu)范圍的(de)影(ying)響作出了認(ren)定(ding)。雖然涉(she)案(an)專利(li)(li)聲稱其同(tong)(tong)時產(chan)生了多個技(ji)術(shu)(shu)效(xiao)果,但是由于配方(fang)組分對產(chan)品的(de)實際(ji)影(ying)響的(de)預見性(xing)(xing)低,因此(ci)通常需要實驗數(shu)據的(de)支持。”許艷介紹,基于此(ci),合議組認(ren)為涉(she)案(an)專利(li)(li)相較于最接近(jin)的(de)現(xian)有技(ji)術(shu)(shu)實際(ji)的(de)技(ji)術(shu)(shu)貢獻在(zai)于采用(yong)特(te)定(ding)的(de)固化劑提高拋光墊的(de)熱穩定(ding)性(xing)(xing)和均(jun)一性(xing)(xing),而現(xian)有技(ji)術(shu)(shu)均(jun)未(wei)就(jiu)此(ci)給出技(ji)術(shu)(shu)啟示,涉(she)案(an)專利(li)(li)具備創造性(xing)(xing)。

       2023年12月(yue)20日,復(fu)審和無效(xiao)(xiao)審理(li)部作出第564483號無效(xiao)(xiao)宣告請(qing)求審查決定,維持涉案專利權有(you)效(xiao)(xiao)。

       合理認定技術貢獻

       新(xin)技(ji)(ji)術新(xin)產(chan)業(ye)(ye)新(xin)業(ye)(ye)態的(de)發(fa)展離不開(kai)基礎材料(liao)的(de)支(zhi)撐,芯(xin)(xin)片作為核心部件,其重要性不言(yan)而喻。作為芯(xin)(xin)片研制生(sheng)產(chan)必不可少的(de)工具(ju),聚氨酯拋光墊的(de)市場前(qian)景十分廣闊。該無效宣告請求審(shen)查決定(ding)在鼓勵創新(xin)的(de)同時,為專利權劃定(ding)了(le)與(yu)其技(ji)(ji)術貢獻(xian)相匹(pi)配的(de)保護范圍(wei),引發(fa)業(ye)(ye)界深入(ru)思考。

       廈門(men)市知識產權(quan)協會專(zhuan)(zhuan)家庫專(zhuan)(zhuan)家、廈門(men)納(na)益維知專(zhuan)(zhuan)利代(dai)理(li)事務所總經理(li)陳菊珍在(zai)接受本(ben)報記者采訪時表示,“參數(shu)(shu)限(xian)定(ding)”專(zhuan)(zhuan)利具有容(rong)易認定(ding)侵(qin)權(quan)卻難以宣告(gao)無效(xiao)的特性,因此包含參數(shu)(shu)特征成為了專(zhuan)(zhuan)利申請(qing)中(zhong)一(yi)種典(dian)型的產品表征形式。該案對判斷參數(shu)(shu)特征對保護范圍的實際限(xian)定(ding)作用(yong)、是否(fou)在(zai)說明(ming)書中(zhong)充分公開、如何(he)在(zai)創造性評判中(zhong)與其他特征作為整體一(yi)并考量等(deng)方(fang)面給出了指引。

       “該無(wu)效(xiao)宣告請求(qiu)審查決(jue)定的(de)(de)作出促使專利(li)代理(li)師反思在專利(li)申請文件撰(zhuan)寫(xie)過程中引入參數特(te)(te)征的(de)(de)必要性及與說明書的(de)(de)關(guan)聯性。同(tong)時,引導被控侵權(quan)(quan)人(ren)知曉參數特(te)(te)征限(xian)定的(de)(de)產品權(quan)(quan)利(li)要求(qiu)的(de)(de)解釋規則(ze),既充分尊重權(quan)(quan)利(li)人(ren)的(de)(de)技(ji)術貢(gong)獻,又維(wei)護(hu)了社會公(gong)眾的(de)(de)利(li)益。”陳菊珍表示。

       韋超峰建議,隨著材料(liao)科學和(he)技(ji)術水平的(de)不(bu)斷(duan)提(ti)高(gao),新型聚氨酯(zhi)耐磨墊的(de)創新開發(fa)(fa)及制備(bei)工(gong)藝的(de)優化將(jiang)成為未(wei)來(lai)(lai)行(xing)業研究的(de)熱(re)點。對(dui)于具有較強知(zhi)(zhi)識產權保(bao)(bao)護意識的(de)企業來(lai)(lai)說,即(ji)便是針對(dui)一些(xie)微小的(de)技(ji)術改(gai)進,也會從新的(de)性(xing)能參(can)數角度進行(xing)保(bao)(bao)護,這些(xie)性(xing)能參(can)數往往是現有技(ji)術尚未(wei)公開的(de)。因此(ci),相(xiang)關從業者在研發(fa)(fa)過程中(zhong),要(yao)注重提(ti)升知(zhi)(zhi)識產權保(bao)(bao)護意識,可以借鑒性(xing)能參(can)數特征知(zhi)(zhi)識產權保(bao)(bao)護模式,提(ti)升自身綜合競爭力。

       【典型意義】

       不同于以宏觀(guan)結構呈現的(de)(de)(de)(de)傳統(tong)機械產品(pin),該(gai)(gai)案的(de)(de)(de)(de)聚氨酯拋(pao)光墊(dian)屬(shu)于一種化學(xue)機械學(xue)科(ke)交叉的(de)(de)(de)(de)創新成果(guo),此類產品(pin)的(de)(de)(de)(de)權利(li)(li)要(yao)求(qiu)通常包括產品(pin)制備特征(zheng)和性(xing)(xing)(xing)能(neng)參數(shu)(shu)特征(zheng)的(de)(de)(de)(de)限(xian)定(ding)。在該(gai)(gai)案中,合議組(zu)根據實驗數(shu)(shu)據認定(ding),權利(li)(li)要(yao)求(qiu)中的(de)(de)(de)(de)組(zu)分、含量(liang)與(yu)物理性(xing)(xing)(xing)能(neng)參數(shu)(shu)等多個特征(zheng)不存在相互作用關系,無需整體考量(liang)。然而(er)(er)本(ben)(ben)專利(li)(li)解(jie)決了拋(pao)光墊(dian)的(de)(de)(de)(de)均(jun)一性(xing)(xing)(xing)及熱穩定(ding)性(xing)(xing)(xing)的(de)(de)(de)(de)技(ji)術(shu)問題(ti),而(er)(er)現有技(ji)術(shu)均(jun)未就此給(gei)出相應的(de)(de)(de)(de)技(ji)術(shu)啟(qi)示(shi),因此具備創造性(xing)(xing)(xing)。該(gai)(gai)案審(shen)理遵循專利(li)(li)法“公(gong)開(kai)換保護”的(de)(de)(de)(de)基本(ben)(ben)原則,在鼓勵創新的(de)(de)(de)(de)同時,為專利(li)(li)權劃定(ding)了與(yu)其技(ji)術(shu)貢獻相匹配的(de)(de)(de)(de)保護范圍。

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