我國半導體材料(liao)精密磨粒(li)加(jia)(jia)工有(you)(you)了(le)“金剛鉆(zhan)”。近日(ri)，記(ji)者從河(he)(he)南省柘城縣獲(huo)(huo)悉，河(he)(he)南力量鉆(zhan)石股份有(you)(you)限(xian)公司參與(yu)完成的(de)“半導體材料(liao)高(gao)(gao)質高(gao)(gao)效磨粒(li)加(jia)(jia)工關鍵技(ji)術(shu)與(yu)應用”項(xiang)目榮(rong)獲(huo)(huo)國家(jia)科學技(ji)術(shu)進(jin)步獎二等獎。該(gai)企業(ye)成為河(he)(he)南省商丘市近十年來唯一獲(huo)(huo)此殊(shu)榮(rong)的(de)企業(ye)。

　　半導體器件制造技術是信息、新能源、智能制造等國家戰略性新興產業創新發展的關鍵。由于半導體器件制造過程復雜、要求嚴苛，采用金剛石磨粒(li)工具(ju)對(dui)半導體(ti)材(cai)料進行多種形式加工是必(bi)不可(ke)少(shao)的環節(jie)。

　　據統計，我國磨具消耗量全球第(di)一(yi)，但半導體(ti)用(yong)系列精(jing)密磨具長期依賴進口。

　　“工具設計缺依據、工具制造遇瓶頸、加工工藝難掌控、加工裝備自主率低等突出問題是制約我國高性能半導體器件自主創新的主要因素。”鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司(si)執(zhi)行董事、高(gao)性能工具(ju)全國重點(dian)實驗室(shi)主任趙延軍說。這(zhe)次獲(huo)獎的(de)項目針對(dui)以上瓶頸，攻克了半導(dao)體(ti)材料(liao)精密磨粒加工系列技(ji)術難題，為我國半導(dao)體(ti)領域(yu)高(gao)質(zhi)高(gao)效加工解決(jue)了關鍵(jian)材料(liao)的(de)迫切需求。

　　河(he)南力(li)量(liang)鉆石股份有限(xian)公司項(xiang)目部主任(ren)陳亞男介紹，作為參與“半導(dao)體(ti)(ti)材料(liao)高(gao)(gao)質(zhi)高(gao)(gao)效磨粒加工關鍵技(ji)術與應用”項(xiang)目研發的(de)(de)骨干(gan)企業(ye)，本次(ci)獲(huo)(huo)獎(jiang)(jiang)是(shi)繼2023年榮獲(huo)(huo)河(he)南省科學技(ji)術進步一(yi)等(deng)獎(jiang)(jiang)之后(hou)，河(he)南力(li)量(liang)鉆石股份有限(xian)公司在高(gao)(gao)端超硬(ying)材料(liao)科技(ji)創新(xin)方面的(de)(de)又(you)一(yi)次(ci)突(tu)破，解決了高(gao)(gao)品質(zhi)微細磨粒批量(liang)化生產(chan)難(nan)題，有力(li)保障(zhang)了我國(guo)高(gao)(gao)性能半導(dao)體(ti)(ti)器(qi)件自主研發和產(chan)業(ye)鏈安全(quan)。

　　河(he)(he)南(nan)省力量(liang)鉆石(shi)股份有(you)限公司是全國超(chao)硬材(cai)料行(xing)業(ye)龍頭企業(ye)之(zhi)一，擁(yong)有(you)“河(he)(he)南(nan)省功能(neng)性(xing)金剛石(shi)及(ji)制品工程技術研(yan)究(jiu)中心(xin)”“高(gao)品級金剛石(shi)大(da)單(dan)晶合成河(he)(he)南(nan)省工程實驗室”“河(he)(he)南(nan)省超(chao)硬材(cai)料產業(ye)創新(xin)(xin)中心(xin)”“河(he)(he)南(nan)省培(pei)育鉆石(shi)產業(ye)研(yan)究(jiu)院”等(deng)科(ke)技創新(xin)(xin)平臺，目前公司擁(yong)有(you)自主研(yan)發(fa)科(ke)技成果20項，全部(bu)實現自主轉化。

　　“下一(yi)步，我們將在(zai)半導體材料高質高效磨粒加工領域不斷(duan)精進，立足自主(zhu)研(yan)發、掌握核心技術，在(zai)高端超硬材料科技創新(xin)方面不斷(duan)實現(xian)新(xin)突破。”鄭州磨料磨具磨削研(yan)究(jiu)所有限公趙延軍表示。