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金剛石微粉的精提純

關鍵詞 金剛石微粉 , 提純|2023-03-13 09:56:15|來源 中國超硬材料網
摘要 隨著現代先進電子制造技術的發展,要求對單晶硅片、集成電路板、計算機硬盤盤片等電子產品的加工過程保持高純凈度,避免引入可能導致產品電學性能發生輕微變化的微量雜質,因此制造高純凈度產品...

       隨著現代先進電子制造技術的發展,要求對單晶硅片、集成電路板、計算機硬盤盤片等電子產品的加工過程保持高純凈度,避免引入可能導致產品電學性能發生輕微變化的微量雜質,因此制造高純凈度產品的研磨拋光產品要求高純的金剛石微粉作為原料。

       前幾天我們介紹了金剛石微粉的粗提純工藝(yi)(yi),并經過分(fen)選(xuan)后,由于前期粗提(ti)純的(de)(de)(de)不徹底、分(fen)級過程中(zhong)分(fen)散(san)劑(ji)的(de)(de)(de)加入以(yi)及其他過程污染的(de)(de)(de)存在,顯然是不能滿足(zu)高純微(wei)(wei)粉(fen)的(de)(de)(de)要(yao)(yao)求,所(suo)以(yi)完成(cheng)分(fen)級的(de)(de)(de)微(wei)(wei)粉(fen)產品還需要(yao)(yao)進(jin)行再(zai)一(yi)次的(de)(de)(de)精提(ti)純,具體原(yuan)理(li)和操作方(fang)法與(yu)粗提(ti)純相同,提(ti)純工藝(yi)(yi)的(de)(de)(de)確定(ding)主(zhu)要(yao)(yao)取決于產品本身(shen)的(de)(de)(de)狀(zhuang)況及市(shi)場對產品的(de)(de)(de)要(yao)(yao)求。

       完成粗提純分級的金剛石微粉產品,產品中仍會存在諸如金屬元素、硅酸鹽和石墨等少量雜質。根據雜質種類不同,可以選用不同的工藝分別去除。常規方法為使用高氯酸去除金屬雜質和殘存石墨,使用氫氟酸法去除硅酸鹽,經過精提純處理的產品一般都能夠滿足絕大部分客戶的需求。

       大概操作步驟

       將靜壓合(he)成(cheng)或爆轟合(he)成(cheng)的(de)(de)經過粗(cu)提純(chun)處(chu)理的(de)(de)金剛石微(wei)粉(fen)原料依次(ci)放入(ru)硝(xiao)酸(suan)(suan)、高(gao)氯(lv)酸(suan)(suan)、氫氟酸(suan)(suan)等酸(suan)(suan)中(zhong),加(jia)熱至(zhi)酸(suan)(suan)沸(fei)騰,并保(bao)持(chi)數個(ge)小時,以溶解(jie)出金剛石表面所吸(xi)附的(de)(de)各(ge)種雜(za)質,再(zai)用高(gao)純(chun)水漂洗去除殘留的(de)(de)酸(suan)(suan)及(ji)各(ge)種雜(za)質,干燥后即(ji)為(wei)高(gao)純(chun)度(du)的(de)(de)金剛石微(wei)粉(fen)。

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       除雜過程中(zhong)需(xu)要注(zhu)意的(de)是(shi),高(gao)(gao)氯(lv)酸是(shi)一種強氧化劑(ji),加(jia)(jia)熱后(hou)(hou)能使石墨緩慢(man)地氧化(需(xu)要注(zhu)意,高(gao)(gao)氯(lv)酸只有(you)高(gao)(gao)溫(wen)(wen)下才能與石墨反應(ying),常溫(wen)(wen)下72%高(gao)(gao)氯(lv)酸不足以氧化石墨),把(ba)已除去金屬觸(chu)媒和大量(liang)石墨的(de)物料置(zhi)于(yu)燒杯(bei)中(zhong),倒入高(gao)(gao)氯(lv)酸,有(you)時加(jia)(jia)入少量(liang)的(de)催(cui)化劑(ji),加(jia)(jia)熱溶(rong)(rong)液(ye)(ye)(ye)(ye)后(hou)(hou)開始(shi)反應(ying),隨著反應(ying)的(de)進行,溶(rong)(rong)液(ye)(ye)(ye)(ye)的(de)顏色(se)(se)(se)由黑灰色(se)(se)(se)-綠(lv)色(se)(se)(se)-棕色(se)(se)(se)-桔紅色(se)(se)(se),當溶(rong)(rong)液(ye)(ye)(ye)(ye)呈桔紅色(se)(se)(se)時,石墨已全部除完(wan),可(ke)以從電熱板上取(qu)下,冷(leng)卻至(zhi)室(shi)溫(wen)(wen),倒出上層(ceng)液(ye)(ye)(ye)(ye)體,再(zai)加(jia)(jia)高(gao)(gao)純水洗滌,直到(dao)中(zhong)性然后(hou)(hou)烘干。

       高(gao)氯(lv)(lv)酸除去石墨(mo)的(de)過(guo)程,反應劇(ju)烈(lie),時刻注意不可溢(yi)出(chu),有時為了加快反應速度(du),可在(zai)高(gao)氯(lv)(lv)酸中添加適(shi)量的(de)硫(liu)酸。

       然而,在實踐中(zhong)用(yong)高(gao)(gao)(gao)(gao)氯酸(suan)去除石(shi)墨成本較高(gao)(gao)(gao)(gao),又污染空(kong)氣,故用(yong)高(gao)(gao)(gao)(gao)氯酸(suan)提(ti)純(chun)(chun)金(jin)(jin)剛石(shi)處理(li)石(shi)墨工藝大都被搖(yao)床,淘(tao)洗盤或硫酸(suan)和硝酸(suan)的混(hun)酸(suan)處理(li)代替。高(gao)(gao)(gao)(gao)氯酸(suan)處理(li)金(jin)(jin)剛石(shi)僅用(yong)在高(gao)(gao)(gao)(gao)純(chun)(chun)度金(jin)(jin)剛石(shi)和細粒度金(jin)(jin)剛石(shi)以及(ji)處理(li)后作燒結用(yong)多晶(jing)金(jin)(jin)剛石(shi)的原料時才(cai)使用(yong)。

       酸(suan)(suan)處(chu)理(li)(li)過(guo)程中所(suo)用(yong)的(de)硝(xiao)酸(suan)(suan)、高氯酸(suan)(suan),氫(qing)氟酸(suan)(suan)均為分析純或(huo)(huo)分析純級別以上試劑(ji),處(chu)理(li)(li)過(guo)程中所(suo)使用(yong)的(de)反應器皿具有耐(nai)強酸(suan)(suan)腐蝕、耐(nai)高溫(wen),且不溶(rong)出(chu)相關金屬或(huo)(huo)非金屬雜(za)質的(de)特征。針對部(bu)分客戶(hu)的(de)特殊要求,還可(ke)以選擇再次王水(shui)處(chu)理(li)(li)去除金屬元素(su),或(huo)(huo)者也可(ke)利用(yong)高溫(wen)堿處(chu)理(li)(li)的(de)辦(ban)法對硅酸(suan)(suan)鹽進行(xing)深度處(chu)理(li)(li)。

       為(wei)確保處理(li)后產(chan)品(pin)的(de)(de)純(chun)凈(jing)度,各種精提(ti)純(chun)工(gong)(gong)(gong)藝應(ying)注(zhu)意(yi)工(gong)(gong)(gong)序(xu)(xu)安排的(de)(de)先(xian)(xian)后順序(xu)(xu)。由(you)于后處理(li)中去(qu)(qu)金屬工(gong)(gong)(gong)序(xu)(xu)一(yi)般使用耐高溫的(de)(de)玻璃(li)容器(qi),容易因為(wei)持續攪拌(ban)磨損(sun)引起硅元素超(chao)標,同時(shi)去(qu)(qu)硅酸鹽工(gong)(gong)(gong)序(xu)(xu)使用的(de)(de)化學試(shi)劑對(dui)玻璃(li)容器(qi)會(hui)有腐蝕,因此(ci)一(yi)般安排先(xian)(xian)進行(xing)去(qu)(qu)金屬處理(li),再進行(xing)去(qu)(qu)硅酸鹽處理(li)以避免(mian)工(gong)(gong)(gong)序(xu)(xu)間可能存在的(de)(de)交(jiao)叉污染(ran)(ran);同時(shi)要求嚴格(ge)控制本階段(duan)漂洗(xi)用水(shui)的(de)(de)品(pin)質,以免(mian)造成二(er)次污染(ran)(ran)。

       提純的整個過程由于(yu)有一定危險(xian)性,所以操(cao)作要領一定要規(gui)范(fan),需要專業人員精細操(cao)作。


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