摘要 此方法是利用等離子體中的粒子進行成膜。首先把硼的靶源用電子束照射蒸發,同時使氮氣通過熱鎢燈絲使其分解,蒸發的硼原子和熱解的氮原子由于受到電子的照射,一部分離子化,在基板偏壓的作用下...
此方法是利用等離子體中的粒子進行成膜。首先把硼的靶源用電子束照射蒸發,同時使氮氣通過熱鎢燈絲使其分解,蒸發的硼原子和熱解的氮原子由于受到電子的照射,一部分離子化,在基板偏壓的作用下,這些粒子和離子加速,在基板上形成立方氮化硼薄膜。
3月(yue)28日,中(zhong)國超(chao)硬材(cai)料網(wang)市場總監(jian)劉小雨、市場經理高(gao)峰一行走...
公元1278年,此(ci)時的(de)(de)(de)南宋(song)就如零丁洋里的(de)(de)(de)一片到(dao)處(chu)漏水的(de)(de)(de)孤舟,...